2025/02 Zastosowanie techniki ALD do wytwarzania cienkich warstw ochronnych stosowanych w filtrach optycznych

Application of ALD technique to fabricate protective thin films used
in optical filters

Małgorzata Okrasa^a , Małgorzata Cichowlas^a *, Michał Puchalski^b

^a Centralny Instytut Ochrony Pracy – Państwowy Instytut Badawczy, Łódź; ^b Politechnika Łódzka

DOI: 10.15199/62.2025.2.4

POBIERZ PLIK PDF